半导体气体很多是对人体有害。特别是其中有些气体如sih4的自燃性，只要一泄漏就会与空气中的氧气起剧烈反应，开始燃烧；还有ash3的毒性，任何些微的泄漏都可能造成人员生命的危害，也就是因为这些显而易见的危险，所以对于系统设计安全性的要求就特别高。气体的使用在半导体制程中一直扮演着重要的角色，特别是半导体制程目前已被广泛的应用于各项产业，凡举传统的ulsi、tft-lcd到现在的微机电(mems)产业，皆以所谓的半导体制程为产品的制造流程，其中的制程包括如干蚀刻、氧化、离子布植、薄膜沉积等皆使用到相当多的气体，而气体的纯度则对组件性能、产品良率有着决定性的影响，气体供应的安全性则关乎人员的健康与工厂运作的安全。
进入21世纪以来，中国拥有快速发展的工业市场和日益增长的产品需求，已逐渐成为世界上气体行业最活跃的市场之一，高纯气体价格，对于气体的需求量持续高速增长，给气体行业带来历史性的发展机遇。据统计，2018年我国工业气体行业市场规模进一步增长至1300亿元以上。国际5大工业气体巨头林德-普莱克斯集团、法液空、美国空气化工、德国梅赛尔集团、日本大阳日酸株式会社先后在中国投资办厂，国内工业气体市场竞争加剧。
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