为了提高设备安全性，在进气方面采用压缩空气加新风补气的双进风形式；在喷淋系统方面，采用循环水泵与自动补水相结合的方法；风机采用一用一备形式。这些工艺特点使得本产品在安全可靠性方面得到极大保证。内部燃烧室采用特殊的泄压装置，即使在内部压力突然增大的情况下仍能正常工作，同时配备了氮丨气吹扫保护系统，更加大了设备的安全性，其中每台硅烷燃烧塔的氮丨气用量为1.5m3/h。在粉尘收集方面采用静压沉积的方法，沉积下来的粉尘通过排渣口排出，这使粉尘收集处理变得更容易、更有效。
从pe丨cvd工艺设备出来的废气主要为硅烷及氨丨气。硅烷是一种可燃性气体，并且易自燃（接触空气后就会燃烧），而氨丨气是一种可溶性气体，处理这些混合废气分两步走：先燃烧后喷淋吸收。本项目选择一套hwr-6型不锈钢硅烷燃烧塔，pe丨cvd的工艺废气设备具体处理过程
1、酸碱废气净化系统
本项目涉及的酸碱废气来自制绒清洗机、扩散炉、去磷硅玻璃清洗机、石英管清洗机及石墨舟清洗机等，主要成分为hf/hcl/cl2/碱蒸汽等，这些废气均可溶于水，可以采用酸碱中和的方式进行废气处理。一般采用碱液喷淋方式进行废气净化。本项目废气处理分为二部分：扩散间及其他废气。扩散间的酸碱废气为15000 m3/h，选一套dgs-b-15型废气洗涤塔进行处理；其他的酸碱废气采用一套dgs-b-40型废气洗涤塔进行处理其处理风量为40000 m3/h。废气洗涤塔主要有以下几部分组成：洗涤塔、自动加yao系统、玻璃钢离心风机、玻璃钢风管、排风烟囱及保护钢架、电气控制柜等组成。
4、印刷工艺废气分析
印刷工艺涉及的主要设备为印刷机和烧结炉，产生的废气主要是一些以脂类和醇类废气为主的有机废气。
（二）废气抽风量设计及设备选择
根据上述废气分析，太阳能电池生产线产生的废气以处理方式来分可分为三类：酸碱废气、硅烷及氨丨气等特气、有机废气。
太阳能电池线的生产过程中涉及制绒、扩散、镀膜、印刷等工艺，在生产过程中会使用大量的化学试丨剂，如盐丨酸、氢氟酸、硝丨酸、硫丨酸、氢丨氧化钾（或氢丨氧丨化钠）、硅烷、氨丨气、醇类等，这些化学试丨剂在使用过程中会释放出大量的有害废气，所排放的废气主要为氯丨化氢、氟丨化氢、氯丨气、氮丨氧化物、氨丨气、硅烷、醇类废气等，这些废气需要被有效的处理，完全达到国家和地方的排放标准后才能排入大气中。
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